高密度プラズマ発生装置
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プローブコントローラー
真空排気装置
大型光学台 TSB-5000 5000×3000×4300H
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水冷チャンバー
成膜チャンバー
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超高真空用溶接
ベローズ駆動装置
中性子分析器
X、Z軸駆動装置
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駆動機
損失イオンプローブ
真空対応X-Z軸
計測駆動機
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ベローズ付絶縁管
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軸直角変位X-Yステージ
報福寺 門
レーザートムソン
計測用架台
試料角度付回転機
高速回転ステージ装置
遷移プラズマ実験装置 HYPER-Ⅱ
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